发明专利已授权

单频干涉直线度误差及其位置测量与补偿的装置及方法

Name: 单频干涉直线度误差及其位置测量与补偿的装置及方法
Brand: 浙江理工大学
SKU: 2017100729462
Availability: InStock

📄 申请号：CN201710072946.2 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2017-02-10

公开号

CN106885535B

公开日

2019-02-01

申请人

浙江理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_27

IPC 分类号

G01B11_27 , G01B11_00 ,

技术画像

所属领域

位置测量光学测量误差补偿精密测量设备位置测量

应用场景

机床精度检测, 精密制造, 计量校准, 工业自动化, 光学仪器

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摘要

本发明公开了一种单频干涉直线度误差及其位置测量与补偿的装置及方法。单频激光器输出的线偏振光束经半波片后，偏振方向被调整成相对于纸面成45°，调制后的线偏振光束被第一消偏振分光棱镜分光，透射光束进入渥拉斯顿棱镜型激光单频干涉仪，反射光束进入迈克尔逊型激光单频干涉仪。以渥拉斯顿棱镜型激光单频干涉仪为感测单元，分别处理形成的圆偏振和线偏振的干涉信号，实现直线度误差及其位置测量；误差检测及补偿部分以迈克尔逊型激光单频干涉仪为感测单元，分析形成的等厚干涉条纹图像，实现偏摆角和俯仰角的测量，并根据测得的俯仰角对直线度误差及其位置的测量结果进行了补偿，提高了直线度误差及其位置的测量精度。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN106885535B

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20190201

✅ 授权

20170718

?? 实质审查的生效：

20170623

📄 公开

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：36 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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