发明专利已授权

激光干涉波长杠杆式绝对距离测量方法与装置

Name: 激光干涉波长杠杆式绝对距离测量方法与装置
Brand: 浙江理工大学
SKU: 2015101005651
Availability: InStock

📄 申请号：CN201510100565.1 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2015-03-06

公开号

CN104655025B

公开日

2017-04-26

申请人

浙江理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_02

IPC 分类号

G01B11_02

技术画像

所属领域

激光干涉测量激光干涉测量光学精密测量绝对距离测量

应用场景

精密制造, 工业检测, 半导体制造, 航空航天测量, 科研计量

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摘要

本发明公开了一种激光干涉波长杠杆式绝对距离测量方法与装置。包括光源系统、波长杠杆式激光干涉系统和干涉信号处理及控制系统；光源系统输出波长分别为λ1和λ2的正交线偏振光束，射向波长杠杆式激光干涉系统，形成干涉光束射向干涉信号处理及控制系统；在波长杠杆式激光干涉系统中，合成波长与单波长和被测绝对距离与参考臂的角锥棱镜的运动位移形成波长杠杆式绝对距离测量关系；干涉信号处理及控制系统负责检测两单波长干涉信号的相位差、计算被测绝对距离和控制光源系统中波长λ2的改变。本发明能实现任意绝对距离的测量，能实现合成波长到单波长的过渡，适用于大型精密装备制造、空间工程和计量技术等领域的大长度或大尺寸、高精度的绝对距离测量。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20170426

✅ 授权

20150624

?? 实质审查的生效：

20150527

📄 公开

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议价

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：32 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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