发明专利已授权

具有六自由度检测的激光外差干涉直线度测量装置及方法

📄 申请号：CN201510067188.6 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2015-02-06

公开号

CN104634283B

公开日

2017-05-03

申请人

浙江理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_27

IPC 分类号

G01B11_27 , G01B11_00 ,

技术画像

所属领域

激光干涉测量激光干涉测量光学精密测量几何量计量

应用场景

精密机械加工, 机床误差测量, 工业自动化, 半导体制造, 航空航天装配

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摘要

本发明公开了一种具有六自由度检测的激光外差干涉直线度测量装置及方法。包括激光外差干涉直线度与其位置检测部分和误差检测与补偿部分；在激光外差干涉直线度与其位置检测部分的光路结构中，加入由三个普通分光镜、一个偏振分光镜、一个平面反射镜、一个凸透镜、一个位置敏感探测器和两个四象限探测器构成的四自由度误差检测光路，本发明利用了激光外差干涉法与激光光斑检测法相结合的方法，实现了被测对象的偏摆角、俯仰角、滚转角、水平直线度、垂直直线度以及直线度位置的六自由度同时检测，并对垂直直线度及其位置进行了误差补偿，消除了直线度测量过程中被测对象转动误差对测量结果的影响，提高了激光外差干涉直线度及其位置的测量精度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20170503

✅ 授权

20150617

?? 实质审查的生效：

20150520

📄 公开

基于双频正交线偏振光干涉的空气折射率测量方法及装置

当前第 / 件

激光干涉波长杠杆式绝对距离测量方法与装置

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