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本实用新型涉及直线模组检测技术领域，具体涉及一种模组直线度测试装置，包括底板，所述底板呈水平设置，还包括控制器、检测机构和夹持机构，夹持机构设在底板的顶部，夹持机构包括基准板、活动板和三个抵紧组件，基准板的外壁上呈对称设置有四个导杆，活动板滑动设在四个导杆的外壁上，三个抵紧组件等间距设置在基准板和活动板之间，检测机构设在基准板和活动板之间，检测机构包括数显表和三个安装组件，三个安装组件等间距设置，每个数显表均插设在一个安装组件上，本实用新型涉及的一种模组直线度测试装置，可以实现同步的批量检测，明显提升了模组的直线度的测试效率，也能满足于不同大小的模组的测试要求，进而提升了本装置的实用性。

本发明提供了一种基于PSD的深孔直线度测量机器人，包括行进机构、深孔自定心机构、激光测量头、光电处理系统以及PSD位置调节机构；深孔自定心机构包括套筒、端盖、六根支撑测量杆、两个锥形圆台、压簧以及定心轴；行进机构用于推动深孔自定心机构沿深孔行进；激光测量头安装定心轴的另一端上；光电处理系统用于采集激光测量头的激光信号，PSD位置调节机构用于调节光电处理系统的受光位置。该深孔直线度测量机器人实现了一个双向对称的楔形弹性支撑机构，实现支撑测量杆端部的滑动支撑，并能够在支撑测量杆沿径向窜动时推动锥形圆台沿定心轴滑动，适应孔径的变化，且始终保持孔的中心线与定心轴的中心线共线，从而适应量深孔、盲孔的直线度测量。

本发明公开了一种具有六自由度检测的激光外差干涉直线度测量装置及方法。包括激光外差干涉直线度与其位置检测部分和误差检测与补偿部分；在激光外差干涉直线度与其位置检测部分的光路结构中，加入由三个普通分光镜、一个偏振分光镜、一个平面反射镜、一个凸透镜、一个位置敏感探测器和两个四象限探测器构成的四自由度误差检测光路，本发明利用了激光外差干涉法与激光光斑检测法相结合的方法，实现了被测对象的偏摆角、俯仰角、滚转角、水平直线度、垂直直线度以及直线度位置的六自由度同时检测，并对垂直直线度及其位置进行了误差补偿，消除了直线度测量过程中被测对象转动误差对测量结果的影响，提高了激光外差干涉直线度及其位置的测量精度。