发明专利 已授权

一种二维直线度误差及其位置同时测量装置及方法

📄 申请号:CN201910414749.3 📄 发布日:2026/06/16

著录项目信息

申请日
2019-05-17
公开号
CN110068272B
公开日
2021-02-05
申请人
浙江理工大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

机床精度检测, 机械加工质量检测, 智能制造在线检测, 精密工程测量

摘要

本发明公开了一种二维直线度误差及其位置同时测量装置及方法。使用一个角锥棱镜作为三自由度测量光路的测量镜,激光光斑位置检测光路产生的光斑位置信号,经信号采集和数据处理实现水平直线度误差和垂直直线度误差的测量,激光外差干涉位置测量光路产生的干涉信号,经信号采集和数据处理实现直线度误差测量点位置的测量。本发明不仅能实现水平和垂直直线度误差的同时测量,还可同时给出直线度误差测量点的位置,用于大行程精密导轨,精密工作台等的直线度参数测量和校准中,提高检测效率。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20210205
✅ 授权
20190823
?? 实质审查的生效 :
20190730
📄 公开

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