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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202222372911.X | 专利名称: | 一种半导体晶圆抛光设备 |
申请日: | 2022-09-07 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号: | B24B29/02 分类检索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 【平台担保交易】 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 | |
浏览量: | 104 | 所属领域: | 半导体 半导体晶圆抛光专利转让搜索 |
摘 要:本实用新型属于半导体晶圆生产处理技术领域,尤其为一种半导体晶圆抛光设备,包括底座和固定连接在所述底座上表面的U型架以及设置在所述U型架下方位置处的加固机构,所述U型架的表面固定连接有动力机构,还包括设置在所述U型架表面一侧的加液组件,所述加液组件包括抛光液盒、进液管、波纹管、连接管、连通管、L型出液管、螺纹杆、转把、活动块、固定块、矩形块和阀门,所述抛光液盒固定连接在所述U型架的表面;有利于在抛光过程中,自动对半导体晶圆表面添加抛光液,提高半导体晶圆的加工质量,增加了该装置的实用性,降低了操作人员的操作难度,有利于对抛光液进行回收,避免抛光液四处流淌,提高装置使用的环保性。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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