咨询电话:13280638997
传真:0533-3110363
邮箱:kefu@shizifang.com
摘 要:本实用新型公开了半导体晶圆清洁技术领域的一种半导体晶圆槽式清洗机,包括壳体,所述壳体的内部中心位置安装有支撑板,所述支撑板的顶部安装有放置台,所述支撑板的底部中心位置安装有电机,所述壳体的内部底端安装有清洗机构,其结构合理,本实用新型通过设有电机和清洗机构,将电机上的转轴与放置台的底部固定连接,使电机可驱动放置台进行旋转处理,通过将多个半导体晶圆卡入网筒上的卡槽块内,并放置在放置台面上,搭配清洗机构的喷洒清洗的效果,使半导体晶圆在清洗过程中,可进行全方位清洗处理,避免半导体晶圆清洗不均匀的情况发生,有效的提高了槽式清洗机的清洗效果及均匀性。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202222496218.3 | 专利名称: | 一种半导体晶圆槽式清洗机 |
申请日: | 2022-09-21 | 申请/专利权人 | 苏州瑞红集昕科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省苏州市苏州工业园区江浦路50号301室(该地址不得从事零售) |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B08B3/02搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2023/01/24 | 授权 |