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摘 要:本实用新型公开了一种半导体硅单晶炉隔离阀室的阀盖装置,包括阀盖板,阀盖板上设置有摆臂,摆臂的一端通过销轴与阀盖板中心位置固定,摆臂的另一端与阀板轴连接,阀盖板上还设置有进水金属波纹软管和出水金属波纹软管,进水金属波纹软管和和出水金属波纹软管通过水槽与所述阀板轴上的水槽相通,阀板轴与阀盖座通过过盈配合安装在一起。本实用新型解决了现有技术中存在的半导体单晶炉阀盖由于高温易变形进而影响主炉室和副炉室的隔离效果的问题。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202022461195.3 | 专利名称: | 一种半导体硅单晶炉隔离阀室的阀盖装置 |
申请日: | 2020-10-30 | 申请/专利权人 | 西安理工大学 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 陕西省西安市碑林区金花南路5号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C30B15/00搜分类 半导体 阀门 隔离 硅 半导体硅 单晶炉搜索 |
公开/公告日: | 2021-07-27 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN213804061U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2021/07/27 | 授权 |