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摘 要:本实用新型提供一种安全的单晶炉炉底板,其安装在单晶炉底座支架上,其上安装主炉室,单晶炉炉底板包括炉底本体、供坩埚杆通过的坩埚杆孔、抽气孔、电极孔、炉内热场安装面、水封板、炉底水冷槽环路、进水口和出水口,炉内热场安装面位于炉底本体上部,为整板无焊缝加工而成,其位于单晶炉炉腔真空室内部,水封板和炉底本体下部焊接,位于单晶炉炉腔真空室外部,炉底水冷槽环路位于炉底本体和水封板之间,进水口位于坩埚杆孔侧壁,出水口位于单晶炉炉底板边缘处。本实用新型采用焊缝在真空室外部的设计,防止漏水对人员和设备产生不安全隐患;坩埚杆孔、电极孔和抽气孔的内壁均采用双面焊接结构,加强了真空室内部焊缝的安全性。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201920484429.0 | 专利名称: | 一种安全的单晶炉炉底板 |
申请日: | 2019-04-10 | 申请/专利权人 | 西安理工大学 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 陕西省西安市金花南路5号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C30B15/00搜分类 底 单晶炉搜索 |
公开/公告日: | 2020-02-14 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN210065977U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2020/02/14 | 授权 |