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24小时咨询热线摘 要：一种p-n结型ZnO-CoTiO3室温气敏薄膜的制备方法，将TiO2靶材和Co3O4靶材放入磁控溅射仪两个射频靶位中，将Zn靶放入直流溅射靶位；接着将Si基片放在磁控溅射仪的镀膜样品台上，再抽真空，通入Ar气，然后进行预溅射，通O2气，最后向Si基片上溅射镀膜，得到前驱体薄膜；将前驱体薄膜进行煅烧，控制煅烧温度在300℃～700℃，煅烧时间0.5h～3h，然后随炉冷却至室温，得到p-n结型ZnO-CoTiO3室温气敏薄膜。该方法能够有效地调控薄膜的组成，成膜性好，操作方便，生产周期短，制备的p-n结型ZnO-CoTiO3气敏薄膜分布均匀，具有优异的室温气敏特性并能有效地降低其工作温度。
著 录 项：
| 专利/申请号： | CN201410225645.5 | 专利名称： | 一种p-n结型ZnO-CoTiO3室温气敏薄膜的制备方法 |
| 申请日： | 2014-05-26 | 申请/专利权人 | 陕西科技大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 陕西省西安市未央区大学园1号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | G01N27/12搜分类 塑料 气 CO P Zn 膜的制备方法搜索 |
| 公开/公告日： | 2014-09-03 | 转让价格： | 面议 |
| 公开/公告号： | CN104020193A | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2017/07/28 | 授权 | |
| 2014/10/08 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): G01N 27/12 专利申请号: 201410225645.5 申请日: 2014.05.26 |
| 2014/09/03 | 公开 |
