咨询电话:13280638997
传真:0533-3110363
邮箱:kefu@shizifang.com
摘 要:本实用新型涉及蓝宝石加工技术领域,提供一种蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备,包括:上盘、下盘、内齿轮、外齿圈、游星轮、至少三个锥齿轮和锥齿轮进给组件,所述上盘、所述下盘、所述内齿轮和所述外齿圈同轴线设置,内齿圈设置在所述上盘和所述下盘之间,所述外齿圈固定在所述下盘的上表面,所述游星轮同时与所述内齿轮和所述外齿圈啮合,所述上盘的下表面和所述下盘的上表面的外周设有锥齿圈。本实用新型通过在上盘和下盘之间设置多个锥齿轮,利用多个锥齿轮保持上盘和下盘平行设置,并带动上盘和下盘转动,同时,利用锥齿轮驱动机构带动锥齿轮沿上盘的径向运动,从而调整上盘和下盘之间的间距。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201921077459.6 | 专利名称: | 蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备 |
申请日: | 2019-07-10 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B24B37/34搜分类 磨料磨具 半导体 蓝宝石搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |