用于检测SF6替代气体分解产物的亚微米薄膜传感器

摘     要：本发明公开了一种用于检测SF6替代气体分解产物的亚微米薄膜传感器，包括传感器基底，传感器基底上表面为电流感应薄膜，用于输出传感器响应电流，传感器基底下表面为粘合材料层，用于固定传感器基底，电流感应薄膜上设置有气敏探针阵列，气敏探针阵列外部涂覆有无定型氟聚合物层，其中，传感器基底采用聚四氟乙烯或者液态硅胶材料制成，电流感应薄膜采用金属材料制成，通过屏蔽电缆输出响应电流，粘合材料层为低渗透性的聚丙烯薄膜，气敏探针阵列材料为对氟原子敏感的叶绿素，气敏探针阵列利用等离子体化学气相沉积法制备而成，本发明解决了现有技术中缺乏能够精确检测环境友好型SF6替代气体分解组分的设备的问题。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注