一种基于N型纳米薄层来提高N型DiMOSFET沟道迁移率方法

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摘     要：本发明公开了一种基于N型纳米薄层来提高N型DiMOSFET沟道迁移率方法，在已有离子注入工艺基础上将注入形成对导电沟道层注氮改为由外延形成的N+外延层a对导电沟道层注氮；对于N沟DiMOSFET器件而言，该外延厚度为2nm～5nm，掺杂浓度为1×1018cm‑3～1×1019cm‑3，随后在栅氧化层的工艺中被氧化，只是栅氧化层与SiC界面含氮离子，减少了表面的悬挂键，与已有的离子注入氮元素相比，本发明通过引入外延层a，避免了离子注入工艺引起的SiC和SiO2的接触界面粗糙，高晶格损伤，低激活率等问题，得到了一种了高电子迁移率，低导通电阻，低功耗的SiC DiMOSFET器件。

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

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