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摘 要:本实用新型公开了一种微波等离子体化学气相沉积装置,属于化学气相沉积技术领域。一种微波等离子体化学气相沉积装置,包括微波等离子体设备主体,微波等离子体设备主体下部固设有安装框,安装框内部安装有电机,电机输出轴上套接有转块,转块下端设有转轴,转轴右方设有移动块,移动块上下端面均均匀设有多个滚珠,移动块右方设有滑框,滑框顶面固设有移动杆。本实用新型设计电机带动转块从而带动移动块转动,然后在滑框的作用下带动移动杆运动,最后移动杆会带动保温盖板自动转动散热。本实用新型设计简介合理,散热效果好,避免了现有技术在制备完成后,不能自主散热,可能会导致制备人员烫伤的问题。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202220399519.1 | 专利名称: | 一种微波等离子体化学气相沉积装置 |
申请日: | 2022-02-25 | 申请/专利权人 | 北京中凯达自动化工程有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 北京市大兴区龙达大街1号院2号楼5层3单元519 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C16/511搜分类 化学化工 气 微 等离子体搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2022/08/16 | 授权 |