一种超结结构的制作方法

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摘     要：本发明涉及一种超结结构及其制作方法，所述方法包括：提供第一导电类型的衬底，在所述衬底上形成第一导电类型的第一外延层；在所述第一外延层上表面形成沟槽掩膜层；对所述第一外延层进行第一刻蚀形成至少一个沟槽；在所述沟槽侧壁及所述沟槽掩膜层侧壁形成多晶硅层，进行对所述沟槽的第二刻蚀，当去除所述多晶硅层时停止所述第二刻蚀；在所述沟槽内填充多个第二导电类型的第二外延层，所述多个第二外延层自所述沟槽底部至顶部依次叠加，且多个第二外延层的浓度自所述沟槽底部至顶部依次降低。上述方法形成的所述超结结构可靠性高，电荷分布均匀。

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2019/04/05	实质审查的生效	IPC(主分类): H01L 29/06 专利申请号: 201811247752.2 申请日: 2018.10.25
  2019/03/12	公开