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24小时咨询热线摘 要：本发明提供了一种磷掺杂多晶硅薄膜及其制备方法，属于功能材料领域。通过将多晶硅粉末与磷粉末按比例混合均匀，压片、真空烧结制得硅靶材，将硅靶材和石英玻璃基片放入真空系统中，采用激光溅射沉积的方法制备出磷掺杂多晶硅薄膜。本发明获得的磷掺杂多晶硅薄膜，其横向应变系数绝对值的最大值可达24.3；横向应变系数的非线性在1‑2.5％之间，比现有的多晶硅薄膜降低了0.5％；采用本发明方法可以使多晶硅薄膜掺杂均匀、平整度高、致密性好且控制晶粒尺寸范围为0.1μm～0.5μm；本发明制备方法简单、成本低、可控性强，为多晶硅薄膜领域拓展了新思路。
著 录 项：
| 专利/申请号： | CN201510353648.1 | 专利名称： | 一种磷掺杂多晶硅薄膜及其制备方法 |
| 申请日： | 2015-06-24 | 申请/专利权人 | |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | |
| 专利状态： | 专利失效 查询审查信息 | 分类号： | C23C14/14搜分类 塑料 多晶硅搜索 |
| 公开/公告日： | 转让价格： | 面议 | |
| 公开/公告号： | 交易状态： | 已转让 搜索相似专利 |
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2024/06/28 | 未缴年费专利权终止 | IPC(主分类): C23C 14/14 专利号: ZL 201510353648.1 申请日: 2015.06.24 授权公告日: 2017.06.30 |
| 2017/06/30 | 授权 | |
| 2015/10/14 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): C23C 14/14 专利申请号: 201510353648.1 申请日: 2015.06.24 |
| 2015/09/16 | 公开 |
