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摘 要:本发明公开了一种基于相场模型利用激光控制硅基表面形态的研究方法,按如下步骤进行:一、在原子力显微镜下,采用硅夹具将微纳结构的硅基板夹住;二、用激光对硅基板的悬空端照射数秒,观察硅基板的硅基表面形态并测量相对应的尺寸;三、在相场模型下模拟基于激光照射下的硅原子扩散行为和纳米结构硅基表面形态的演变过程。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201710015449.9 | 专利名称: | 基于相场模型利用激光控制硅基表面形态的研究方法 |
申请日: | 2017-01-10 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01Q60/24搜分类 激光搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2020/12/11 | 专利权的转移 | 登记生效日: 2020.11.30 专利权人由杭州追猎科技有限公司变更为芜湖数字信息产业园有限公司 地址由310012 浙江省杭州市西湖区三墩镇西园八路2号8幢2603室变更为241100 安徽省芜湖市芜湖县湾沚镇北航芜湖通航创新园5号楼8层 |
2020/11/20 | 专利权的转移 | 登记生效日: 2020.11.09 专利权人由杭州电子科技大学变更为杭州追猎科技有限公司 地址由310018 浙江省杭州市经济技术开发区白杨街道2号大街1号变更为310012 浙江省杭州市西湖区三墩镇西园八路2号8幢2603室 |
2019/03/08 | 授权 | |
2017/06/23 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): G01Q 60/24 专利申请号: 201710015449.9 申请日: 2017.01.10 |
2017/05/31 | 公开 |