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一种铁电纳米点阵列中导电性调控的表征方法

Name: 一种铁电纳米点阵列中导电性调控的表征方法
Brand: 淮阴工学院
SKU: 2019107432136
Price: 13720.0 CNY
Availability: InStock

📄 申请号：CN201910743213.6 📄 发布日：2026/09/03

著录项目信息

申请日

2019-08-13

公开号

CN110514872B

公开日

2024-06-25

申请人

淮阴工学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01Q60_02

IPC 分类号

G01Q60_02 , B82Y30_00 , B82Y35_00 , B82Y40_00 ,

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

半导体存储, 纳米电子器件, 材料分析测试, 集成电路, 传感器

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摘要

本发明公开了一种铁电纳米点阵列中导电性调控的表征方法，属于纳米铁电材料制备和微纳表征技术领域，通过离子束刻蚀铁电薄膜获得高密度纳米点阵列；借助于矢量压电力显微术表征获得铁电拓扑畴的畴结构；使用导电原子力显微镜观测到纳米点中的导电通道，二维电流图像表明单个纳米点中的导电区域为几十纳米，这些导电通道具有类似于金属导电的特性；联合压电力显微镜和导电原子力显微镜获得极化对导电性的调控；可用于开发非易失性的、高密度的铁电随机存取存储器；纳米点的中心型畴结构为研究铁电拓扑畴及拓扑材料提供方案；同时，纳米点的导电性可以通过极化翻转进行调控，提供的表征方法可以将这种调控可视化，提升数据的直观性、可靠性。

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……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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