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摘 要:本发明提供了一种原子力显微测试系统及其样品台,所述样品台包括透明本体及设于透明本体上的夹具,透明本体具有一椭球面,样品台还包括一反射层,反射层覆盖于椭球面的表面,透明本体的一侧面设有激光入射点,透明本体的顶面设有检测点,椭球面的长轴的两个焦点分别与激光入射点、检测点重合,从激光入射点入射的激光被反射层反射后从检测点出射。本发明提供的样品台通过在透明本体上设置一椭球面,在椭球面上覆盖反射层,椭球面的长轴的两个焦点分别与位于透明本体的一侧面上的激光入射点、位于透明本体的顶面的检测点重合,使得从激光入射点入射的激光均可以从检测点出射,从而能够对入射激光进行精确对准,实现激光位置可控可调。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202010975483.2 | 专利名称: | 原子力显微测试系统及其样品台 |
申请日: | 2020-09-16 | 申请/专利权人 | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 广东省深圳市南山区深圳大学城学苑大道1068号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01Q60/24搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 2023-11-14 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN112098680B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |