发明专利 已授权

原子力显微测试系统及其样品台

📄 申请号:CN202010975483.2 📄 发布日:2026/08/03

著录项目信息

申请日
2020-09-16
公开号
CN112098680B
公开日
2023-11-14
申请人
中国科学院深圳先进技术研究院
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

表面形貌测量, 材料微观结构表征, 半导体晶圆检测, 生物样品显微成像, 纳米技术研究

摘要

本发明提供了一种原子力显微测试系统及其样品台,所述样品台包括透明本体及设于透明本体上的夹具,透明本体具有一椭球面,样品台还包括一反射层,反射层覆盖于椭球面的表面,透明本体的一侧面设有激光入射点,透明本体的顶面设有检测点,椭球面的长轴的两个焦点分别与激光入射点、检测点重合,从激光入射点入射的激光被反射层反射后从检测点出射。本发明提供的样品台通过在透明本体上设置一椭球面,在椭球面上覆盖反射层,椭球面的长轴的两个焦点分别与位于透明本体的一侧面上的激光入射点、位于透明本体的顶面的检测点重合,使得从激光入射点入射的激光均可以从检测点出射,从而能够对入射激光进行精确对准,实现激光位置可控可调。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN112098680B

购买这项专利需要经过哪些流程?

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购,平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少?

当前标价为议价,可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书 附图

……

……

图1
图2
图3

法律状态时间线

20231114
✅ 授权
20210105
?? 实质审查的生效 :
20201218
📄 公开

同领域国内专利 · IPC: (G01Q60_24)

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐
议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:87 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

资金托管 权属尽调 包过户
🏢 淄博智来知识产权服务有限公司
✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)
王**¥-10万
李** 企业¥-8万
陈**¥-3万
查看全部出价