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摘 要:本发明公开了一种自动除静电系统,包括静电测量探头、参考信号发生器、信号预处理单元、检波器和离子发生器,所述离子发生器产生的离子喷射至被测带电体表面,以消除所述被测带电体上的静电。本发明通过静电测量探头精确测得被测带电体的静电电量和极性,将测得的信号经过调制、放大、检波后控制高压离子发生器产生除静电离子,静电测量探头检测到的信号越强,则高压离子发生器产生的除静电离子越多,产生的离子向被测带电体表面喷射,除静电离子的极性与静电极性相反,可以中和静电,直到被测带电体表面静电被完全除去,除静电效果好。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201510705480.6 | 专利名称: | 自动除静电系统 |
申请日: | 2015-10-27 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01R29/12搜分类 静电防护 工业生产 半导体晶圆清洗搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 8800.0元 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2018/05/18 | 授权 | |
2016/02/03 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): G01R 29/12 专利申请号: 201510705480.6 申请日: 2015.10.27 |
2016/01/06 | 公开 |