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专利名称:
自动除静电系统
申请号:
2015107054806
转让价格:面议
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法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
静电防护 工业生产 半导体晶圆清洗
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发布日:2025/04/21
摘要: 本发明公开了一种自动除静电系统,包括静电测量探头、参考信号发生器、信号预处理单元、检波器和离子发生器,所述离子发生器产生的离子喷射至被测带电体表面,以消除所述被测带电体上的静电。本发明通过静电测量探头精确测得被测带电体的静电电量和极性,将测得的信号经过调制、放大、检波后控制高压离子发生器产生除静电离子,静电测量探头检测到的信号越强,则高压离子发生器产生的除静电离子越多,产生的离子向被测带电体表面喷射,除静电离子的极性与静电极性相反,可以中和静电,直到被测带电体表面静电被完全除去,除静电效果好。
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