实用新型已授权

一种面接触式静电电位测试装置

Name: 一种面接触式静电电位测试装置
Brand: 青岛旭博源工程技术有限公司
SKU: 2023225411303
Availability: InStock

📄 申请号：CN202322541130.3 📄 发布日：2025/11/03

著录项目信息

申请日

2023-09-19

公开号

CN220933086U

公开日

2024-05-10

申请人

青岛旭博源工程技术有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G01R29_24

IPC 分类号

G01R29_24 , G01R19_00 , G01R1_04 ,

技术画像

所属领域

测试装置静电测试电位测量传感器测试装置

应用场景

电子元器件检测, 半导体制造, 静电防护, 工业自动化, 精密仪器

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摘要

本实用新型公开了一种面接触式静电电位测试装置，涉及静电测试技术领域，包括主机和设置于主机上的样本安装转盘，所述主机上位于样本安装转盘轴线左侧部设置安装调整驱动机构，所述主机上位于调整驱动机构上部位置设置安装测位机构。本实用新型通过调整驱动机构和测位机构的设计，将测量电极安装在调整驱动机构上，并通过测位机构对样本位置进行测量，后将测位机构测得的数据传送至主机进行数据处理在由主机发出调整移动信号使调整驱动机构驱动测量电极移动至与样本间距合适的位置即可完成测量电极与样本之间间距调整工作，使测量电极与样本之间间距调整过程全程实现自动进行，省时省力，有利于提高调整精度。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN220933086U

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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