一种三维电感线圈及其制备方法

摘     要：本发明针对现有MEMS三维电感线圈存在的不足，提供一种三维电感线圈，包括柔性衬底、薄膜导线、磁性电极、软磁薄膜电极、软磁薄膜引线电极、绝缘层、磁芯薄膜、引线，其中，软磁薄膜电极和软磁薄膜引线电极位于柔性衬底的上边缘，磁性电极位于柔性衬底的下边缘，且柔性衬底上边缘、下边缘的电极通过薄膜导线连通；柔性衬底沿着中心线弯折后，通过磁性电极与软磁薄膜电极、软磁薄膜引线电极的吸引，自动实现三维电感线圈电极的对应和连通。本发明采用柔性衬底、磁性电极，结构、制备方法简单，只需要光刻的lift‑off工艺，不需要后续刻蚀工艺，适合低成本的MEMS三维电感的制作，也为发展新型的三维MEMS电感提供了思路。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2017/08/25	授权
  2016/08/03	实质审查的生效	IPC(主分类): H01F 17/00 专利申请号: 201610093143.0 申请日: 2016.02.21
  2016/07/06	公开