发明专利已授权

一种微小位移检测传感器、装置及方法

📄 申请号：CN202110664923.7 📄 发布日：2026/06/16

著录项目信息

申请日

2021-06-16

公开号

CN113532281B

公开日

2023-06-06

申请人

南京信息职业技术学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_02

IPC 分类号

G01B11_02

技术画像

所属领域

位移检测位移传感器精密测量传感器技术位移检测

应用场景

工业自动化, 精密制造, 机器人控制, 航空航天, 仪器仪表

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摘要

本发明公开了光学测量领域的一种微小位移检测传感器、装置及方法，旨在解决物品发生的微小位移时，一般的测量设备难以察觉，也很难对位移距离进行准确测量技术问题。一种微小位移检测传感器，包括两片蒸镀有高反射多层介质膜的玻璃基片，其中一片玻璃基片用于与待测物体固定，另一片用于与参照物体固定。采用本发明中的微小位移检测传感器，对于发生微小位移的待测物体，在待测物体和参照物体处固定玻璃基片形成具有空气层的干涉滤光片，当具有连续光谱的光源垂直入射所述微小位移检测传感器时，通过监测记录透射光的波长变化计算待测物体发生的位移值，可实现对待测物体位移变化的动态监测和精准测量，且可靠性高。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种基于改进的截断核范数的鲁棒主成分分析方法

当前第 / 件

一种大角度旋转体的机电限位机构

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