发明专利 已授权

翼型自悬浮式研磨盘

📄 申请号:CN202210501981.2 📄 发布日:2026/08/04

著录项目信息

申请日
2022-05-09
申请人
浙江工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

精密加工, 表面抛光, 晶圆研磨, 金属研磨, 磨削加工

摘要

翼型自悬浮式研磨盘,包括圆盘形主体,圆盘形主体的外缘沿周向均匀分布若干翼型扇叶,翼型扇叶沿周向的两侧分别为前缘和后缘;翼型扇叶的前缘至后缘之间的连线为翼弦,翼弦由后缘至前缘向上倾斜;从靠近圆盘形主体的圆心至远离圆盘形主体的圆心的方向,翼型扇叶的后缘与水平面的夹角逐渐减小;翼型自悬浮式研磨盘的下表面用于连接工件,翼型自悬浮式研磨盘在抛光液中进行回转运动产生液体动压与上下表面压差带动工件浮起,工件与抛光液磨料相接触。本发明装置简单,成本较低;可改善工件的表面粗糙度和平面度;研磨盘底部平稳,在高速旋转中能够产生稳定的磨粒流减少抛光液流速不稳定而给工件造成的损伤;操作条件简单,具有广泛的发展前景。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

议价
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📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:51 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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