发明专利已授权

一种集成式微温控器件及其制备方法

📄 申请号：CN202210778736.6 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2022-06-30

公开号

CN115167572B

公开日

2024-03-22

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G05D23_30

IPC 分类号

G05D23_30

技术画像

所属领域

微机电系统（MEMS）微机电系统（MEMS）温度控制器件热电制冷技术

应用场景

光通信模块温控, 芯片温度控制, 精密仪器恒温, 激光器温控, 医疗检测设备温控

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摘要

本发明公开了一种集成式微温控器件及其制备方法。本发明包括底板、盖板和加热线圈。底板上开有形成制冷液流道的沟槽，制冷液流道包括入口、出口汇集流道和双曲线排列的多条分流流道。分流流道由多个特斯拉阀结构的微流道首尾连接构成，两端分别接入口、出口汇集流道，入口、出口汇集流道开口于底板两侧。盖板将沟槽顶面封闭，表面设置有加热线圈。首先在底板上按照设计刻蚀出沟槽，然后对底板和盖板进行表面活化，将底板和盖板键合，最后在盖板上溅射金属薄膜，刻出加热线圈。本发明减小了腔体结构或外界因素带来的紊流影响，提升了制冷效率，将制冷和加热进行了集成，可用于微小空间温度控制。本发明工艺重复性高、稳定性好，易于规模化生成。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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