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本发明公开了一种集成式微温控器件及其制备方法。本发明包括底板、盖板和加热线圈。底板上开有形成制冷液流道的沟槽，制冷液流道包括入口、出口汇集流道和双曲线排列的多条分流流道。分流流道由多个特斯拉阀结构的微流道首尾连接构成，两端分别接入口、出口汇集流道，入口、出口汇集流道开口于底板两侧。盖板将沟槽顶面封闭，表面设置有加热线圈。首先在底板上按照设计刻蚀出沟槽，然后对底板和盖板进行表面活化，将底板和盖板键合，最后在盖板上溅射金属薄膜，刻出加热线圈。本发明减小了腔体结构或外界因素带来的紊流影响，提升了制冷效率，将制冷和加热进行了集成，可用于微小空间温度控制。本发明工艺重复性高、稳定性好，易于规模化生成。

本发明涉及一种弯折梁及具有该弯折梁的电磁式扫描微镜，属于微光机电系统领域。该弯折梁的中间部分经多次弯折形成近回形结构。通过两个弯折梁将微镜板悬置连接在固定边框内侧，微镜板能够绕弯折梁轴线进行偏转。弯折梁能够有效降低梁的扭转刚度，提升扫描微镜的机械扫描性能，还能起到缓冲作用，提高了器件的抗振动和抗冲击能力，从而弯折梁可以支撑较大尺寸的扫描微镜。可以与微镜板的厚度相同，这不仅减小了器件的加工时间和加工难度，提高加工效率，同样有助于提高器件的结构可靠性。微镜板背面掏槽以减重，提高器件在环境振动中的稳定性，减少谐振频率。利用MEMS技术将固边边框、微镜板与弯折梁集成在一起，工艺简单。

本发明公开了一种基于MEMS阵列透镜天线，包括天线阵列单元，每个所述天线阵列单元与水平地面之间呈角度安装，且若干个所述天线阵列单元组合呈凹透镜阵列和凸透镜阵列排列；本发明实现把MEMS天线阵列单元做成透镜的形式，其中凸透镜天线阵列单元无需转动，可扩大天线的辐射范围；凹透镜天线阵列单元，产生的信号汇聚于一点再进行发射，增强了发射强度，可实现点对点的通信；同时无需机械式的转动，天线单元本身呈一定的角度安装，加之可调制的扭动，其辐射面实现更大范围的覆盖，避免了机械式雷达依靠传统机械式转动，实现波束的扫描转动，改善了机械式扫描目标反映速度慢、更新速率低、分辨率差等的影响。