发明专利 已授权

一种双波长激光诱导周期性氧化铈表面纳米结构的制备方法

📄 申请号:CN202510535993.0 📄 发布日:2026/08/04

著录项目信息

申请日
2025-04-27
公开号
CN120060964B
公开日
2025-07-15
申请人
浙江工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号

技术画像

应用场景

催化材料, 光电器件, 传感器, 表面工程, 功能涂层

摘要

本发明涉及一种双波长激光诱导周期性氧化铈表面纳米结构的制备方法,其包括,在掺铌钛酸锶衬底上脉冲激光沉积氧化铈薄膜的过程;引入紫外波长激光对所述氧化铈薄膜进行辐照退火的过程,得到致密氧化铈薄膜;以及,引入红外波长激光诱导所述致密氧化铈薄膜的表面形成周期性纳米结构的过程。本发明具有提高氧化铈表面周期性纳米结构的均匀性的优点。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图2
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