发明专利 已授权

一种气体静压轴承气膜流场观测装置

📄 申请号:CN202011138201.X 📄 发布日:2026/08/04

著录项目信息

申请日
2020-10-22
申请人
浙江工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

精密机械, 轴承性能测试, 高端装备制造, 气浮主轴系统, 半导体设备

摘要

一种气体静压轴承气膜流场观测装置,包括轴承系统和气源系统,轴承系统包括电控升降台,电控升降台包括水平设置的底盘和升降平台,底盘与升降平台之间设有剪型升降支撑结构,升降平台上依次水平放置有止推板和透明的测试板,止推板上设有未贯穿的节流孔和连通节流孔的供气孔;测试板的上方设有用于拍摄气膜流场的CCD相机,电控升降台的两侧对称用于夹紧测试板的夹块;气源系统包括气源发生器,气源发生器通过气管依次连接气体处理装置、荧光粒子存储装置和止推板,在止推板与测试板之间形成气膜。本发明能够直接对气体静压轴承的气膜流场进行观测,从而对是否存在涡旋及涡旋变化的情况进行深入分析,为气体静压轴承的优化设计提供数据支撑。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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