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发明专利
已授权
一种拼接式绝对直线位移传感器
📄 申请号:CN202111370465.2
📄 发布日:2026/08/04
著录项目信息
申请日
2021-11-18
公开号
CN114087969A
公开日
2022-02-25
申请人
重庆理工大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G01B7_02
IPC 分类号
G01B7_02
,
G01B7_00
,
技术画像
所属领域
位移传感器
位移传感器
精密测量技术
传感器结构设计
应用场景
工业自动化, 数控机床, 精密测量, 半导体制造设备
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摘要
本发明公开了一种拼接式绝对直线位移传感器,其单个定尺采用模块化结构设计,N个定尺通过首尾拼接的方式扩展量程,接收电极Ⅰ、接收电极Ⅱ通过电信号进行编码,当多个定尺进行拼接时,可识别出动尺处在哪一个定尺之上;分段定尺识别加上定尺内绝对定位,即可实现拼接后整个量程内的绝对直线位移测量。本发明用简单的原理实现了超大量程的绝对直线位移测量,打破了传统的栅尺制造工艺对提升量程的限制。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种分时复用型拼接式绝对直线位移传感器
当前第 / 件
一种基于组合调制原理的拼接式绝对直线位移传感器
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G01B7_00
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