发明专利已授权

一种分时复用型拼接式绝对直线位移传感器

📄 申请号：CN202111372470.7 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2021-11-18

公开号

CN114087970B

公开日

2023-10-20

申请人

重庆理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B7_02

IPC 分类号

G01B7_02 , G01B7_00 ,

技术画像

所属领域

位移传感器位移传感器传感技术精密测量

应用场景

工业自动化, 数控机床, 机器人定位, 精密测量, 半导体制造设备

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摘要

本发明公开了一种分时复用型拼接式绝对直线位移传感器，其将N个定尺采用首尾拼接的方式进行量程扩展，单个定尺采用模块化结构，定尺的基体上表面设有激励电极Ⅰ、接收电极、激励电极Ⅱ，动尺的基体下表面设有传感单元Ⅰ和传感单元Ⅱ，传感单元Ⅰ由感应电极Ⅰ、反射电极Ⅰ和感应电极Ⅱ组成，传感单元Ⅱ由感应电极Ⅲ、反射电极Ⅱ和感应电极Ⅳ组成。先给其中的一个激励电极施加电信号，在接收电极输出第一组行波信号，然后将激励切换到另一个激励电极上，在接收电极输出第二组行波信号，两组行波信号经时栅信号处理系统处理，输出绝对直线位移值。本发明能实现测量范围达到几米甚至几十米的超大量程绝对直线位移测量。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种运动平顺的轻量化仿人机械手臂

当前第 / 件

一种拼接式绝对直线位移传感器

同领域国内专利 · IPC: (G01B7_02)

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