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大口径大相对孔径抛物面反射镜面形误差的检测方法

Name: 大口径大相对孔径抛物面反射镜面形误差的检测方法
Brand: 西安工业大学
SKU: 2013105859977
Availability: InStock

📄 申请号：CN201310585997.7 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2013-11-20

公开号

CN103575233B

公开日

2017-02-01

申请人

西安工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_24

IPC 分类号

G01B11_24

技术画像

所属领域

光学检测光学检测面形误差测量干涉测量

应用场景

大口径光学元件加工, 天文望远镜制造, 空间光学系统装调, 精密光学检测

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摘要

本发明涉及一种大口径大相对孔径抛物面反射镜面形误差的检测方法。现有方法成本高、精度低其效率也较低。本发明的方法为选择透射标准镜头；调整激光波面干涉仪的位置；调整被测抛物面反射镜的焦点与激光波面干涉仪的焦点重合；调整被测抛物面反射镜的光轴与激光波面干涉仪的光轴共轴；调整标准平面反射镜；旋转干涉仪，使激光波面干涉仪对准第一环子孔径A；根据子孔径划分方案；重复第六步和第七步。本发明为低成本、高精度、高效率的大口径大相对孔径抛物面反射镜面形误差的检测方法。

常见问题

这项专利是否已经下证？

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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