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发明专利
已授权
一种基于柔性基板的高稳定霍尔元件及其制备方法
📄 申请号:CN201611230253.3
📄 发布日:2026/07/23
著录项目信息
申请日
2016-12-27
公开号
CN106784302B
公开日
2019-04-02
申请人
陕西科技大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H01L43_06
IPC 分类号
H01L43_06
,
H01L43_04
,
H01L43_14
,
技术画像
所属领域
传感器技术
传感器技术
柔性电子
半导体器件
应用场景
磁场检测, 电流传感, 位置传感, 汽车电子, 工业自动化
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摘要
本发明提供一种基于柔性基板的高稳定霍尔元件及其制备方法,该柔性的霍尔元件结构为对称的四叶草结构、缺角矩阵结构、十字星形结构等各种不同的结构。所述霍尔元件结构包括柔性基底、以真空蒸镀方式堆栈而成的两层或多层不同温度霍尔系数的薄膜层、电极以及起保护作用的壳体。所述的柔性基底为塑料或超薄铝片。本发明的一种柔性、高稳定的霍尔元件可减小温度对霍尔电压的影响,提升霍尔元件稳定性,并且它的柔性使其具有广泛的应用前景,比如可以嵌入智能纺织物,用这种纺织物制成的服装可以随时监控人体的各种功能;也可将其作为机器人的控制单元传感元件。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
20190402
✅ 授权
20170623
?? 实质审查的生效 :
20170531
📄 公开
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未申报
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