发明专利已授权

激光干涉信号直流偏置漂移相位误差补偿方法及装置

📄 申请号：CN201710533008.8 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2017-07-03

公开号

CN107449357A

公开日

2017-12-08

申请人

浙江理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B9_02

IPC 分类号

G01B9_02

技术画像

所属领域

误差补偿信号处理激光干涉测量相位检测与补偿误差补偿

应用场景

精密位移测量, 光学干涉测量, 振动检测, 微纳制造在线检测, 激光测距

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摘要

本发明公开了一种激光干涉信号直流偏置漂移相位误差补偿方法及装置。激光干涉仪的参考信号和测量信号经信号放大滤波预处理，然后转换为数字信号；将参考信号和测量信号的数字信号依次通过插值滤波、过零仲裁后和相位计数后，采集获得特定时钟计数；根据特定时钟计数进行计算获得计数误差，用计数误差计算获得补偿的相位差。本发明克服了激光干涉仪中由于直流漂移引入的误差，提高了激光干涉仪信号处理中的相位测量精度，适用于各种干涉测量技术。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20190618

✅ 授权

20180105

?? 实质审查的生效：

20171208

📄 公开

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