发明专利 已授权

一种宽带可调谐太赫兹波吸收器及制作方法

📄 申请号:CN201810812741.8 📄 发布日:2026/07/23

著录项目信息

申请日
2018-07-23
申请人
西安理工大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

太赫兹通信, 太赫兹成像, 光谱检测, 电磁屏蔽, 安检安防

摘要

本发明公开了一种宽带可调谐太赫兹波吸收器,包括掺杂半导体材料基体,掺杂半导体材料基体表面制作有一层微结构阵列,该微结构阵列包含若干均匀排列的微结构单元,该微结构单元能够响应THz波,所述微结构单元中还设计有矩形波导结构以增加吸收带宽,掺杂半导体材料基体为p型硅材料,掺杂浓度为~0.3×1017/cm3,半导体材料基体厚度为250~300μmm,电阻率为0.5Ω·cm,微结构单元为H型微结构单元,每个H型微结构单元相对几何中心上下、左右均对称,H型微结构单元厚度为53μm,本发明还公开了宽带可调谐太赫兹波吸收器的制作方法,本发明解决了现有技术中存在的太赫兹波器件体积较大、且带宽有限的问题。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20220603
⏳ 专利实施许可合同备案的生效 :
20200804
✅ 授权
20190115
?? 实质审查的生效 :

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