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发明专利
已授权
一种基于全无机钙钛矿薄膜的柔性多态阻变存储器及其一步溶液法制备方法
📄 申请号:CN201910676408.3
📄 发布日:2026/07/23
著录项目信息
申请日
2019-07-25
申请人
陕西科技大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H10N70_20
IPC 分类号
H10N70_20
,
H10B63_00
,
技术画像
所属领域
钙钛矿薄膜
钙钛矿薄膜
阻变存储器
柔性电子器件
应用场景
数据存储, 柔性电子, 可穿戴设备, 神经形态计算, 消费电子
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摘要
本发明提供了一种一步溶液法来制备基于全无机钙钛矿薄膜的柔性多态阻变存储器,器件的结构从下到上依次为柔性衬底、下电极、阻变存储层、上电极,属于非易失性存储器领域。本发明的步骤如下:步骤1、在柔性衬底上沉积金属导电薄膜作为下电极;步骤2、采用一步溶液法沉积全无机钙钛矿薄膜作为阻变存储层;步骤3、在阻变存储层的表面沉积圆形的上金属导电薄膜作为上电极。本发明提供了一种柔性阻变存储器的制备方法,通过一步溶液法沉积出高质量的无机钙钛矿薄膜,制备的器件具有很高的稳定性;通过控制饱和电流和截至电压,阻变器件呈现出多态特性;同时制备的柔性器件具有高的抗弯曲性和优异的电学性能。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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