发明专利已授权

基于API模型的微驱动器迟滞建模及前馈控制方法

Name: 基于API模型的微驱动器迟滞建模及前馈控制方法
Brand: 杭州电子科技大学
SKU: 201910942980X
Availability: InStock

📄 申请号：CN201910942980.X 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2019-09-30

公开号

CN110687785B

公开日

2022-05-03

申请人

杭州电子科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G05B13_04

IPC 分类号

G05B13_04

技术画像

所属领域

控制方法迟滞建模前馈控制微驱动器控制方法

应用场景

精密定位, 微纳制造, 半导体制造, 光学聚焦, 工业自动化

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摘要

本发明公开了基于API模型的微驱动器迟滞建模及前馈控制方法。传统PI模型在描述非对称迟滞曲线时误差大。本发明将CPI模型改进为API模型，并根据非对称Play算子与非对称Stop算子间存在互补关系，得到基于非对称Stop算子的API逆模型，设计出微驱动器前馈控制器；把各时刻微驱动器的期望输出位移输入到前馈控制器，将前馈控制器的输出作为微驱动器的输入电压，该电压作用于微驱动器便得到微驱动器各时刻对应的实际输出位移。本发明API模型从本质上解决了PI模型只能描述对称迟滞曲线的问题，模型精度显著提高，本发明微驱动器前馈控制器简单有效，降低了控制器的复杂程度。

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……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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