发明专利已授权

一种异质材料结构化多层薄膜吸波器及其制造方法

📄 申请号：CN201911345072.9 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2019-12-24

公开号

CN110994189A

公开日

2020-04-10

申请人

西安工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01Q17_00

IPC 分类号

H01Q17_00 , C23C14_16 , C23C14_35 , C23C16_34 , C23C16_40 ,

技术画像

所属领域

吸波材料吸波材料多层薄膜结构异质材料复合

应用场景

电磁屏蔽, 雷达隐身, 微波吸收, 电子设备抗干扰

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摘要

本发明公开了一种异质材料结构化多层薄膜吸波器及其制造方法，所述结构化多层薄膜包括硅基底，Ag薄膜、SiO2薄膜和SiNx薄膜从下往上依次层叠；该结构化多层薄膜整体为微金字塔结构阵列。制备时，采用单点金刚石车削技术在异质材料多层薄膜中直接完成微金字塔结构的成型。本发明提出的异质材料结构化多层薄膜吸波器对可见光波以及红外波段光波表现出明显的吸波特性，该包含金属-介质的异质材料结构化多层薄膜吸波器可以实现对电磁波能量的吸收，制备成本低、效率高，对于光伏、隐身领域具有重要的实用价值。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20210720

✅ 授权

20200505

?? 实质审查的生效：

20200410

📄 公开

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