发明专利已授权

一种具有自聚焦功能的结构化多层光学薄膜及其制备方法

📄 申请号：CN201911345096.4 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2019-12-24

公开号

CN110850514B

公开日

2022-04-01

申请人

西安工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G02B3_00

IPC 分类号

G02B3_00

技术画像

所属领域

光学薄膜光学薄膜微纳结构加工功能光学材料

应用场景

光学镜头, 显示器件, 光通信器件, 激光系统, 成像设备

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摘要

本发明公开一种具有自聚焦功能的结构化多层光学薄膜及其制备方法。所述多层光学薄膜包括玻璃基底，玻璃基底顶面由下至上层叠设有SiNx薄膜、SiOxNy薄膜和/或SiOxFy薄膜；所述光学薄膜整体为金字塔结构。制备时，使用单点金刚石切削金属模具，通过纳米压印技术结合等离子体刻蚀的方法将金字塔结构阵列转移到多层光学薄膜中。本发明的产品具有优良的聚焦性能，焦距可以通过微结构内部的膜层设计进行调节，在可见光以及近红外波段具有消色差的特性。其制备工艺成本低，效率高，可以实现大尺寸范围的批量化生产。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种计算机网络安全监控装置

当前第 / 件

一种异质材料结构化多层薄膜吸波器及其制造方法

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