发明专利已授权

中红外集成双通道滤光片的制备方法

📄 申请号：CN202110029036.2 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2021-01-11

公开号

CN112859225A

公开日

2021-05-28

申请人

西安工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G02B5_28

IPC 分类号

G02B5_28 , G03F7_00 ,

技术画像

所属领域

光学薄膜光学薄膜薄膜制备工艺集成光学器件

应用场景

气体检测, 环境监测, 红外光谱分析, 医疗诊断, 工业过程监控

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摘要

本发明为一种中红外集成双通道滤光片的制备方法，其克服了现有技术中光谱仪微型化程度得不到保证以及不能实现任意光谱或者大范围光谱分光的问题，本发明能够完成任意光谱或大范围光谱的分光，微型化与集成化程度更高。本发明包括以下步骤：S1、基片清洗后，先在基片背表面镀制3‑5μm中红外增透膜；S2、在基片前表面进行第一次光刻构图；S3、沉积第一通道滤光片薄膜；S4、通过剥离工艺将光刻胶及胶上薄膜去除，得到单通道滤光片；S5、在基片前表面进行第二次对准光刻；S6、沉积第二通道滤光片薄膜；S7、进行第二次剥离工艺将光刻胶及胶上薄膜去除，得到中红外集成双通道滤光片。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种可编程忆阻器逻辑电路

当前第 / 件

防止船体侧翻气囊装置

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：26 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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