发明专利已授权

一种用于单平面研磨机实现自修整磨盘的修整机构

📄 申请号：CN202110492932.2 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2021-05-06

申请人

西安理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B53_017

IPC 分类号

B24B53_017 , B24B47_12 , B24B47_00 ,

技术画像

所属领域

平面研磨机械加工设备磨削加工自动控制系统研磨机平面研磨

应用场景

精密加工, 工业自动化, 机械制造, 半导体晶圆研磨, 光学元件加工

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摘要

本发明公开了一种用于单平面研磨机实现自修整磨盘的修整机构，由两个对称布置的修整辊组、辊组固定架以及其上的驱动加压机构组成。修整辊组的两个修整辊浮动联接，由电机驱动同方向自转。辊组固定架与两组修整辊组之间为浮动联接，其整体被与之浮动联接的驱动加压组件驱动公转。修整辊组以及驱动加压组件都设置有压力调节装置，分别调节修整辊之间、修整辊与磨盘之间的压力。辊组固定架设置有配重盘，通过配置重物也可调节修整辊与磨盘之间的压力。四个对称浮动的自转又公转的修整辊与研整环一起，实现研磨工件时同步修整磨盘，使其长期保持平面度精度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种钒基MXene原位衍生硫化物的方法

当前第 / 件

Cr2AlC/铜基复合材料及其制备方法

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：22 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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