发明专利已授权

一种碳化硅连续长晶装置及长晶工艺

📄 申请号：CN202311045447.6 📄 发布日：2026/07/03

著录项目信息

申请日

2023-08-18

公开号

CN116988145B

公开日

2026-06-09

申请人

南通罡丰科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C30B23_00

IPC 分类号

C30B23_00 , C30B29_36 ,

技术画像

所属领域

半导体材料半导体材料晶体生长技术晶体生长设备

应用场景

半导体衬底, 功率器件, 新能源汽车, 5G通信, 射频器件

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摘要

本发明提供一种碳化硅连续长晶装置及长晶工艺，包括生长室、容纳装置、翻转长晶装置等装置，翻转长晶装置包括承载板以及籽晶连接工件，在碳化硅气相生长的过程中，控制翻转长晶装置间断转动，碳化硅晶棒能够在两个籽晶连接工件两侧交替连续长出，在生长的过程提拉承载板朝着第二导料开口方向移动，能够将第一个碳化硅晶棒从第二导料开口处提拉进行取料，第二个碳化硅晶棒在底端的籽晶连接工件表面连续生成，完成碳化硅晶棒的交替连续生长，提高了碳化硅晶棒生长的效率。该发明能够实现碳化硅晶棒的连续生长，极大地提高了碳化硅晶棒的生长效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种针对生物纹理特征识别算法安全性测试的重构方法及其应用

当前第 / 件

一种节能型化工生产用冷凝装置

同领域国内专利 · IPC: (C30B23_00)

C30B23_00 C30B23_02 覆盖2个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：42 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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