发明专利已授权

一种ZnO紫外光电探测器及制备方法

📄 申请号：CN202211285871.3 📄 发布日：2026/06/30

著录项目信息

申请日

2022-10-20

公开号

CN116053337B

公开日

2026-02-27

申请人

江苏理工学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H10F77_123

IPC 分类号

H10F77_123 , B82Y15_00 , H10F77_30 , H10F77_20 , H10F30_21 , H10F30_221 , H10F71_00 ,

技术画像

所属领域

紫外光电探测器光电探测器半导体器件氧化锌材料紫外光电探测器

应用场景

火焰探测, 环境监测, 紫外通信, 医疗诊断, 军事探测

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摘要

本发明属于紫外探测器技术领域，具体涉及一种ZnO紫外光电探测器及制备方法。本发明包括从下至上依次设置的ITO玻璃衬底、n型低维ZnO纳米线结构层、Mg或Cd掺ZnO薄膜层、p型低维ZnO纳米线结构层和上电极层。本发明在p层和n层之间加入Mg或Cd掺ZnO薄膜层可有效拓宽p‑n结耗尽区，同时Mg掺ZnO不但与纯ZnO导电性相似且禁带宽度连续可调，构成自驱动型紫外光电探测器结构，能够有效解决现有的p‑n同质结ZnO紫外光电探测器的p‑n结耗尽区较窄的问题，同时在低维p型低维ZnO纳米线结构层表面沉积Ag纳米颗粒，提高光生电流的产生以及光生载流子的输运最终制备出具有高光响应度紫外光电探测器。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种具备防过载功能的高效主轴伺服电机

当前第 / 件

基于目标检测和视觉SLAM的室内定位方法和装置

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