发明专利已授权

一种绝压接触式MEMS电容薄膜真空传感器

Name: 一种绝压接触式MEMS电容薄膜真空传感器
Brand: 江苏理工学院
SKU: 2022115151579
Availability: InStock

📄 申请号：CN202211515157.9 📄 发布日：2026/06/30

著录项目信息

申请日

2022-11-30

公开号

CN115744808B

公开日

2025-04-11

申请人

江苏理工学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B81B7_00

IPC 分类号

B81B7_00 , B81B7_02 , G01L9_12 , G01L21_00 ,

技术画像

所属领域

MEMS传感器 MEMS传感器电容式压力传感真空测量技术

应用场景

半导体制造, 真空镀膜设备, 工业真空系统, 科研仪器, 真空热处理

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明公开了一种绝压接触式MEMS电容薄膜真空传感器，包括传感器芯片，以及用于安装传感器芯片的外壳，以及将传感器芯片封装在外壳内的上壳；传感器芯片包括硼硅感压膜、硅基底和玻璃基底，三者至上而下依次连接；硅基底的一面设有腔体，硅基底将设有腔体一面与硼硅感压膜直接键合，形成真空参考腔；真空参考腔内设有抽气孔，通过硅基底的另一面与玻璃基底阳极键合封堵抽气孔，真空参考腔形成高真空。本发明通过在真空参考腔内部设有抽气孔，将形成真空参考腔的技术转变为硅‑硅直接键合和硅‑玻璃阳极键合相结合的方式，简化了工艺流程，降低了真空传感器的测量下限；硼硅感压膜上设有保护环，减小传感器灵敏度的影响，提高真空传感器的分辨率。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN115744808B

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

基于多维传感的车用燃料电池健康状态监测方法

当前第 / 件

一种用于水系电池生产材料的筛分设备

同领域国内专利 · IPC: (B81B7_00)

B81B7_00 B81B7_02 B81B7_04 覆盖3个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：69 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)

一种绝压接触式MEMS电容薄膜真空传感器

著录项目信息

技术画像

所属领域

应用场景

摘要

常见问题

这项专利是否已经下证？

购买这项专利需要经过哪些流程？

该专利的转让价格是多少？

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (B81B7_00)

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

一种探究气体放电现象的演示平台

一种探究气体放电现象及气体化学性质的综合演示仪

一种微波等离子体去胶设备

服务项目

资源中心

关于柿子坊