发明专利 已授权

轮式剪切流变抛光装置及抛光方法

📄 申请号:CN202411526079.1 📄 发布日:2026/06/29

著录项目信息

申请日
2024-10-30
公开号
CN119098891B
公开日
2025-11-11
申请人
浙江工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号

技术画像

应用场景

精密机械加工, 模具制造, 光学元件加工, 半导体晶圆加工, 航空航天零部件加工

摘要

本发明公开了轮式剪切流变抛光装置及抛光方法;所述抛光装置包括机架,设于机架上的移动模块、工件夹持驱动模块和抛光模块;所述移动模块用于控制工件在X、Y、Z三个方向上的运动;所述工件夹持驱动模块用于夹持待加工的工件,并驱动工件旋转;所述抛光模块包括抛光槽和下部位于抛光槽内的抛光轮,所述抛光轮的外周面上沿周向间隔开设有一组凹槽。在抛光时,可以利用抛光轮的旋转将抛光液带起,与上方的待加工工件接触,同时利用工件与抛光液的相对运动,对工件进行剪切增稠抛光,而且还可以通过移动模块和工件夹持驱动模块,对工件的抛光位置进行调控,从而实现对工件不同位置的抛光,达到了确定性抛光的目的,抛光精度高、表面质量好。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

议价
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