发明专利已授权

一种复合全息光刻系统和方法

Name: 一种复合全息光刻系统和方法
Brand: 浙江理工大学
SKU: 202411217485X
Availability: InStock

📄 申请号：CN202411217485.X 📄 发布日：2026/06/16

著录项目信息

申请日

2024-09-02

公开号

CN119310804B

公开日

2025-10-10

申请人

浙江理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G03F7_20

IPC 分类号

G03F7_20

技术画像

所属领域

全息光刻全息光刻微纳加工光学系统

应用场景

半导体制造, 微纳光学器件, 全息显示, 光栅制造, 光子集成

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摘要

本发明涉及复合全息光刻系统和方法，包括：照明子系统、数据处理子系统、复合光场输出子系统和感光材料平台，照明子系统包括光源、物光照明机构和参考光照明机构，物光照明机构包括多个物光照明通道，参考光照明机构包括多个参考光通道；数据处理子系统用于接收三维图像信息或三维结构信息，并将三维图像信息或者三维结构信息转换为波前信息，并将波前信息按照视角分组形成多个子区域；编码子波前信息形成对应的复合子光场信息，并将复合子光场信息输入至复合光场输出子系统；复合光场输出子系统用于接收照明子系统的多个物光通道的光，接收处理子系统的多个复合子光场信息，将复合子光场传输至感光材料平台所承载的感光材料上。实现了大面积、高分辨率的衍射结构和图案的输出。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种光子晶体涂料、制备方法及其应用

当前第 / 件

自动化超声相控阵检测装置及其检测方法

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