发明专利 已授权

光致发光铽掺杂氧化锡薄膜及其制备方法

📄 申请号:CN202110972791.4 📄 发布日:2026/06/16

著录项目信息

申请日
2021-08-24
公开号
CN115895656B
公开日
2024-05-03
申请人
浙江理工大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

显示器件, 光学传感器, 防伪标识, 固态照明, 紫外探测

摘要

本发明涉及发光材料技术领域,具体涉及光致发光铽掺杂氧化锡薄膜及其制备方法,包括以下步骤:以锡盐和铽盐为前驱体,旋涂形成薄膜,置于管式炉中,以第一升温速度升温至第一退火温度,在管式炉中退火处理,形成第一产品;将第一产品置于快速热退火设备中,以第二升温速度升温至第二退火温度,在快速热退火设备中退火处理,获得铽掺杂氧化锡薄膜;其中,第二升温速度大于第一升温速度,第二退火温度大于第一退火温度。本发明可以有效的改善管式炉处理后铽掺杂氧化锡薄膜的光致发光性能,获得的铽掺杂氧化锡薄膜具有优良的光致发光性能。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

议价
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