实用新型已授权

一种用于半导体及光电子无尘室的减震基座

📄 申请号：CN201921315776.7 📄 发布日：2026/06/12

著录项目信息

申请日

2019-08-14

公开号

CN210319079U

公开日

2020-04-14

申请人

江苏瑞鑫集成电路设备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F16M1_00

IPC 分类号

F16M1_00 , F16F15_04 ,

技术画像

所属领域

减震装置减震装置隔振支撑结构半导体设备

应用场景

半导体无尘室, 光电子无尘室, 精密设备减震, 半导体制造, 光电制造

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摘要

本实用新型公开了一种用于半导体及光电子无尘室的减震基座，包括地板支撑脚座和固定安装在地板支撑脚座上方的减震装置，减震装置的上方安装有支撑柱，其上方固定焊接有安装平台，支撑柱的上端设有卯眼，卯眼中安装有横梁，地板支撑脚座的上方固定安装有加重板；通过在减震基座的底端设置加重板降低减震基座的重心高度，以及在支撑柱之间设置横梁，来共同提高减震装置的稳定性，从而提高减震装置的减震强度，通过在地板支撑脚座的底部安装橡胶块，可以进一步的对减震弹簧减震过后的余量震动进行进一步的减震，而且该橡胶块还可以很好地起到保护地板支撑脚座与地面接触部分，使得其接触部分不会由于震动产生的摩擦对地面造成损耗而产生灰尘。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种用于半导体及光电子无尘室的载重脚式基座

当前第 / 件

一种用于半导体及光电子无尘室的隔振基座

同领域国内专利 · IPC: (F16M1_00)

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议价

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