实用新型已授权

一种用于半导体及光电子无尘室的载重脚式基座

Name: 一种用于半导体及光电子无尘室的载重脚式基座
Brand: 江苏瑞鑫集成电路设备有限公司
SKU: 2019213157540
Availability: InStock

📄 申请号：CN201921315754.0 📄 发布日：2026/06/12

著录项目信息

申请日

2019-08-14

公开号

CN210600708U

公开日

2020-05-22

申请人

江苏瑞鑫集成电路设备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F16M5_00

IPC 分类号

F16M5_00

技术画像

所属领域

支撑基座支撑基座洁净室设备零部件半导体设备部件

应用场景

半导体制造, 光电子生产, 无尘室设备安装, 精密设备支撑, 科研洁净实验室

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摘要

本实用新型涉及钢结构基座技术领域，具体为一种用于半导体及光电子无尘室的载重脚式基座，包括基座本体和承托盘，基座本体的底端四角均垂直设有支撑槽钢，基座本体的顶端两侧均匀设有定位柱，支撑槽钢的顶端均焊接固定在基座本体的底端上，且四根支撑槽钢的长度相同，支撑槽钢的底端均焊接设有支撑块，有益效果为：本实用中基座本体是由上结构板和下结构板组成，其中上结构板和下结构板之间焊接设置有众多的立柱以及短槽钢，而基座本体的底端设置有四根支撑槽钢，支撑槽钢的底端均设置有特殊的支撑脚，相邻两根支撑槽钢之间焊接有横架，上述结构均可以增强基座本体的结构稳定性和支撑强度，便于更好的放置研究器材，保证无尘室的安全。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种集成电路无尘车间铝合金地板支撑脚座

当前第 / 件

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