实用新型已授权

一种蚀刻机台

📄 申请号：CN202023133798.7 📄 发布日：2026/05/29

著录项目信息

申请日

2020-12-23

公开号

CN215404531U

公开日

2022-01-04

申请人

苏州普汇达电子科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23F1_08

IPC 分类号

C23F1_08 , H01L21_67 ,

技术画像

所属领域

半导体蚀刻设备半导体蚀刻设备等离子体蚀刻晶圆加工设备

应用场景

集成电路制造, 晶圆加工, 芯片蚀刻工艺, 半导体器件制造

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摘要

本实用新型公开了一种蚀刻机台，包括箱体和底座，所述箱体外部设有塑胶挡片,所述塑胶挡片通过螺丝钉固定安装在箱体外壁，所述箱体外壁设有进料口，所述进料口前端设有进料板，所述进料板固定安装在箱体外壁，所述箱体底部设有污水收集箱，所述污水收集箱一侧设有排水管，所述箱体内部设有伸缩杆，所述伸缩杆底部设有中空管，所述中空管一端贯穿箱体外壁与导管连接，所述中空管设有喷头，通过安装在箱体外部的终端控制器来控制箱体内部安装的伸缩杆，可以调节伸缩杆的高低使得安装在中空管上的喷头喷洒化学药剂的范围更为集中，不会应为喷头高度过高导致喷头中喷洒的化学药剂范围过大导致的化学药剂喷洒的不均匀导致原料蚀刻达不到所需的标准。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

电解蚀刻电极装置

当前第 / 件

一种茶籽油生产用油渣沉淀收集装置

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